【全球半导体设备公司 ASM 开始在京畿道华城建设其第二家研究和制造工厂】-金色码头

荷兰高科技半导体加工设备制造商ASM正在显着增加其在京畿道华城的等离子增强原子层沉积 ( PEALD ) 设备研究和制造设施。到 2025 年，与现有设施相比，研发面积将增加一倍，生产面积将增加两倍。ASM与京畿道的中小企业合作生产 70% 的材料和零件。

京畿道知事金东渊、ASM CEO Benjamin Roh 和华城市市长郑明根24 日上午在华城市东滩路的ASM韩国工厂举行了ASM半导体设备研究和制造设施的奠基仪式, 京畿道。ASM董事会主席Pauline van demer Mohr、国会议员Yang Hyang-ja，贸易、工业和能源部长Kim Wan-ki，经济和劳工委员会成员出席了奠基仪式

。京畿道议会申美淑、华城市议会议长金庆熙、ASM Korea会长金永吉、荷兰驻韩大使Joanna Donnerbart、Invest的金泰亨等约150人韩国, 出席. 到 2025 年， ASM将在现有设施旁边的 7400 平方米（2200 坪）场地投资 1350 亿韩元，以扩大半导体沉积设备研究和制造设施。与现有设施相比，研发面积增加了一倍，生产面积增加了两倍。

ASM总部位于荷兰阿尔梅勒，是全球前10大半导体设备公司ASMI的新名称。它在全球14个国家拥有3300名员工，拥有约1200项半导体设备专利。

继2015年与京畿道签订投资协议后，2019年1月，在华城东滩高新技术产业园区投资870亿韩元建设PEALD设备研究制造设施。它也是ASM投资的全球唯一一家将研发与制造相结合的工厂。

PEALD是一种利用等离子体原子层的装置，是由一家国内公司开发并由ASM商业化的技术。沉积工艺是在已切割电路的晶圆上覆盖一层薄薄的氧化物/绝缘膜的工艺，PEALD与物理（PVD）/化学（CVD ）沉积相比可以精确地覆盖一层薄膜。用于10纳米以下的尖端DRAM 、3D NAND和系统半导体工艺，已进入超精细电路。

ASM四年前创建了第一个制造研究创新中心并雇用了 440 人，而当第二个制造研究创新中心于 2025 年建成时，预计将再雇用 200 多人。

ASM Korea计划70%的材料和零部件与京畿道的中小企业合作生产，因此有望对与道内企业的合作共赢起到很大帮助。ASM

首席执行官Benjamin Loh表示：“华城工厂是等离子体原子层沉积设备 ( PEALD ) 业务的全球中心，也是韩国的主要客户。”韩国研发团队开发的技术对于全球先进的半导体制造至关重要。 ” 。京畿道知事 Kim Dong-yeon表示：“如果将 ASM 与现有的半导体生产园区、附近的小型和一般公司以及无晶圆厂公司联系起来，京畿道将成为名副其实的世界级半导体圣地。”。去年10月，金知事会见了ASM财务总监Paul Verhagen （ CFO），并于11月邀请ASM Korea会长金容吉参加“未来成长型创新企业招商引资圆桌会议”，并积极要求追加投资。

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